|
Лабораторное помещение (комната 109)
Внешний вид комнаты 109
Лабораторное оборудование:
- Электронные спектрометры ESCALAB MK II (VG Scientific, Великобритания) - 2 шт., год выпуска 1986 г. Методы исследования: РФЭС, ЭОС, РФД, ВИМС
- Сканирующий туннельный микроскоп VT STM (Omicron, Германия), год выпуска 2008 г. Методы исследования: СТМ-микроскопия в температурном диапазоне 300-900 К. СТМ-микроскоп состыкован с электронным спектрометром ESCALAB MK II
- Испаритель тонких пленок "OS-Vap e-beam evaporator" (Oxford Scientific, Великобритания), год выпуска 2005 г. Ситема осаждения пленок смонтирована на электронном спектрометре ESCALAB MK II
- Металлографический оптический микроскоп NEOFOT-30 (Carl Zeiss, Германия), год выпуска 1986 г.
Исследовательский комплекс
Общий вид исследовательского комплекса на бае электронного спектрометра VG ESCALAB MK II и сканирующего туннельного микроскопа VT STM Omicron.
-
Электронный спектрометр VG ESCALAB MK II:
- Рентгеновский источник немонохороматического излучения MgKa (1253.5 эВ) и AlKa (1486.6 эВ);
- 150-градусный 12-ти дюмовый полусферический анализатор энергии электронов с трехканальным детектором вторичных электронов;
- Ионная пушка AG-21, используемая для травления поверхности образца ионами аргона Ar+ (Е=2-10 кэВ) в процессе отчистки;
- Электронная пушка LEG-200, предназначенная для Оже-экспериментов с размером анализируемого пятна >200нм;
- Манипулятор, позволяющий производить перемещение образца вдоль трех взаимно перпендикулярных направлений и вращение образца вокруг вертикальной и горизонтальной осей;
- Система манипуляторов и транспортеров перемещения образцов внутри вакуумной системы;
- CCD-камера для оптического наблюдения образцов;
- Система тонкого напуска смесей газов
- Система компьютерного управления кспериментом и обработки данных.
- Сканирующий туннельный микроскоп VT STM фирмы "Omicron"
- Высокотемпературная ячейка
- Электронно-лучевой испаритель Oxford Scientific
Сканирующий туннельный микроскоп
Сканирующий туннельный микроскоп VT STM "Omicron" состыкованный со спектрометром VG ESCALAB MK II
Сверхвысоковакуумный сканирующий туннельный микроскоп VT STM OMICRON позволяет в сверхвысоковакуумных условиях получать атомное изображение поверхности металлов и полупроводников, в том числе кремния, посредством регистрации туннельного тока между зондом и близко подведенной к нему исследуемой поверхности. Предназначен для исследования элементарных структурных процессов на поверхности полупроводников и металлов для создания наносистем и новых материалов с уникальными свойствами.
Высоковакуумная высокотемпературная ячейка
Сверхвысоковакуумная высокотемпературная ячейка
Высоковакуумная высокотемпературная ячейка предназначена для нагрева образцов электронным пучком до 2600 К, при этом внешний контроль температуры осуществляется пирометром.
- Вакуумная камера спектрометра;
- Источник электронов;
- Образец;
- Держатель образца;
- Оптический пирометр;
- Окно оптического пирометра;
- Оборудование для эпитаксиального напыления тонких пленок.
|
.jpg)
.jpg)
